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龙门双驱精密活动平台

沉复定位精度 ±1μm

高动态响应个性

低静态抖动

急剧整定

支持非标定造

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18158876408 （李经理）

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| 产品详情

技术指标	数据
有效行程	X轴:300mm Y轴:300mm
最大快率	X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s
最大加快率	X轴:0.6G Y轴:0.6G
沉复定位精度	X轴:±0.5μm Y轴:±1μm
直线度	X轴:±4μm Y轴:±4μm
行走平面度	X轴:±5μm Y轴:±5μm
正交度	±5μm
负载	10kg
光栅尺分辨率	0.1μm

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